ICP-MS GCMS~分子泵日常15点易发故障和解决方法

应用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向活动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的映照，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能取得清洁的超高真空。涡轮分子泵普遍用于高能加速器、可控热核反响安装、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。

15点易发故障和解决方法如下：

1、为什么分子泵是半热半冷的？

原因：附近有阳光或其他热源

解决方案：避免光或热源

2、分子泵使用过程中油变黑。 为什么油会变黑？ 或者油变黑需要多长时间？

原因：散热不好，负载过大

解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

3、分子泵运行过程中，频率从正常下降到一定频率，然后恢复正常，再下降到一定频率，再恢复正常，反复，更换后现象依旧 电源，是什么现象？ 解释？

原因：负载过大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

4、分子泵轴承为什么会烧坏？

原因： ① 缺乏定期维护 ② 冷却不良导致过热 ③ 未及时更换油 ④ 抽出的气体中含有大量灰尘

解决方法：①及时保养 ②检查冷却系统 ③及时换油 ④隔离灰尘

5. 有了防护网的保护，为什么还有大块的碎玻璃掉进泵里？

原因：防护网坏了，前管路坏了

解决方案：优化系统设计

6、真空度很好时，为什么分子泵油会回到前级管路？

原因：油池破裂或密封不良

解决方法：检查油池

7、在正常使用下，分子泵油池为什么会出现裂纹或变形？

原因：过热、重载

解决方法：检查冷却系统，检查系统

8、顶丝、螺丝等物件经常掉出分子泵，如M5的顶丝。 是否影响分子泵的使用？ 如何解决？

原因：应该是偶尔的事情，可能是天平中漏掉了一个天平栓，对分子泵没有影响。

解决方法：应该是偶尔的事情，可能是天平上少了天平钉，对分子泵没有影响。

9. 皮圈分子泵卡钳用几把，使用安全吗？

答：没有特别限制，根据法兰尺寸至少可以选择3、3、6、12、24等

10、逆变电源在什么情况下会造成程序丢失或混乱？

答：①电压不稳定②强干扰③高压点火④想解密

11、如何定义分子泵的噪声？ 有资格标准吗？它是什么？

答：72db以下合格，噪声大小没有明确定义，需要专用设备和特定的测试环境

12、分子泵对冷却有明确的要求吗？ 空气冷却所需的外部温度是多少？ 如果是水冷，对水的具体要求是什么？ 如果不满足要求会有什么后果？

A：注意水温和水流。 冷却不良会导致无端停机、泵坏、油变黑等。

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题。 最好的方法应该是什么？

答：电源本身有接地线，只要保证城网接地良好即可； 屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

14、变频器电源在转速上升时会自动关机，即显示“Poff”？

答：原因：电压低

15、分子泵叶片折断是什么原因？

答：分子泵转子和定子坏的原因有很多，可以总结如下：

①、误操作； 比如突然的真空破坏，因为转子和定子叶片之间的间隙很小，如果叶片的材料比较薄或比较软，突然的空气阻力会导致叶片变形，可能会导致转子和定子 要变形。 它们之间的摩擦，导致破损。

②、是异物掉入； 不装过滤网肯定不行，掉进去的东西不一定要大，但是硬度够的话会造成损坏，光是刀刃就会有锯齿， 重将被击中。 破碎的叶子。 因此，目前的设备制造商在安装分子泵时尽量将分子泵呈90度角或倒置安装，以免异物掉入其中。

③电压不稳定，尤其是磁悬浮分子泵。

④。 前级泵效率差； 我们知道，腔体中的大部分气体首先被前级泵抽出，直到真空度达到一定水平，分子泵才会启动。 如果前级泵效率差，分子泵会比较费力，启动速度慢，抽气时间长，电流大，分子泵温度升高。

⑤。 维护时分子泵的动平衡没有做好，这是技术的关键。 动平衡不良导致振动大，泵送效率差，易造成轴承零件过度磨损。

⑥。 轴承部分没有使用原厂标准轴承，效果和尺寸不标准。